Первый с советских времен свой литограф появится в России в 2024 году
В интервью заместителя министра промышленности и торговли Российской Федерации Василия Шпака сайту «CNews» 9 апреля 2024 года был озвучен ряд фактов о текущем развитии импортозамещающих программ в микроэлектронике в нашей стране после 2022 года. В частности, названы сроки появления как первых российских литографов, так и совместно разрабатываемых вместе с партнерами из Белоруссии.
Начнем с литографов, про которые «Техносфера. Россия» неоднократно писала. В рамках совместных проектов с Белоруссией в 2024 году появится первое 350-нм литографическое оборудование, в 2026 году – 130-нм. Ведется создание электронно-лучевого литографа (для в производства СВЧ-электроники), а также комплекса оборудования для производства фотошаблонов, начиная от лазерного генератора изображений до контрольно-измерительного оборудования.
В Зеленограде в 2024 году обещают выдать первый со времен СССР промышленный образец 350-нм литографа, который будет доступен к коммерческому заказу. Вместе с ним создается другое оборудование, например, плазмохимический кластер. В 2026 году здесь будет готов 130-нм литограф. Все лазеры для таких машин разрабатываются на российских предприятиях. В 2024 году также в Зеленограде начнут работу по разработке линейки российского оборудования для фотолитографии на 65-90 нм, опытный образец ориентировочно ожидается не ранее 2025 года. Выход на промышленную технологию 28 нанометров – ранее 2030 года вряд ли состоится.
Уже начатые активные разработки своих технологий для промышленного производства микросхем тянут за собой большой объем научных и производственных проектов. В России сейчас запущено 40 проектов в области разработки оборудования и 39 проектов в области материалов и химических веществ. Также реализуются проекты по организации производства более 100 материалов. Серьезно начали работать по направлению электронного машиностроения: для маршрута производства микросхем на алюминиевых пластинах 200 мм до 180 нанометров расписаны все технологические операции и необходимые для них машины, в базовой обработке пластин участвуют 7 машин.
В 2024 году будет завершена научно-исследовательская работа, в рамках которой появится план создания необходимых полигонов по микроэлектронике, СВЧ, фотонике и силовой электронике. В России идут по пути создания кластеров, потому что мегафабрику чипов для страны нам, по мнению представителя Минпромторга, пока не потянуть. При этом создается возможность достигать необходимого функционала, пусть и не с такими большими производственными мощностями.
Как отмечает заместитель министра промышленности и торговли Российской Федерации, «мастерство наших дизайн-центров кристаллов – достичь нужного функционала с более толстой топологией. Чем толще топология, тем дешевле стоимость производства и для окупаемости нужно продать меньше чипов. На 14 нанометрах вполне возможно сделать нормальный вычислитель для нейронных сетей».
В заключение немного о формируемом новом рынке сбыта нашей продукции. У России должна появиться своя технологическая, экономическая, валютная, политическая зона. Сейчас выстраиваются связи. «Страны ЕАЭС, Узбекистан, в нашей зоне точно окажется Иран, с высокой долей вероятности и Турция. Это и арабские страны: Объединенные Арабские Эмираты, Саудовская Аравия, Сирия, Ливан, Египет. И всё вместе это как раз около 450 млн человек. Так что с кем работать, нам понятно», — отмечает Виталий Шпак.
